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定义泄漏检测的速率和准确性
INFICON UL5000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。 UL5000 采用经过领域验证的真空设计,内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S,可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果,确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。
UL5000 在所有测试范围内均可实现快速响应,从达到测试条件到获得最终结果的周期时间极其短暂。 此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应,能够满足您的需求。
功能概览
- HYDRO-S (*HYDRO*gen-*S*uppression) 能够快速达到测试条件。
- I-CAL (Intelligent - *C*alculation *A*lgorithm for *L*eak Rates) 确保对所有测试范围内的泄漏做出快速响应。
- 经过领域验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪采用无故障、免维护设计,历经数年仍可提供准确且可重复的结果。
- 特殊的多进口涡轮分子泵可以在所有压力下提供最佳氦气泵速和高氦气压缩率,从而提供卓越灵敏度、快速响应和清洗。
- 前置涡轮分子泵可以对任何测试对象(包括最大容量和最大腔室)提供极其快速的响应。
- 旋转式显示器/控制接口和可选远程手动控制器提供操作灵活性。
- 自我保护功能可保护 UL5000 免受氦气和粒子污染,甚至还设有自动冲净周期,确保 UL5000 随时可用。
- 可通过软件启用对装置和系统软件的访问控制,从而阻止未经授权地使用或意外修改测试设定。
- 通过电子邮件升级软件,确保您的 UL5000 始终处于最佳工作状态。
- 新型工作站设计,带有最佳高度的工作台面,并且配备有防静电台垫和工具箱,便于测试。
- 3 年离子源保修服务。
应用
- 半导体和平板显示器工具上测试元件、部件和大型腔室泄漏测试
- 半导体和平板工具泄漏测试
- 航空元件、部件和系统泄漏测试
- 医用产品(例如心房脉冲产生器、导管、X 射线管和 MRI 系统)泄漏测试
- 贮存容器/贮存箱泄漏测试
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
English
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Brochure - UL5000 Helium Leak Detector
English
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Catalogs:
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INFICON Leak Detector Catalog
English
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