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10 -12 atm/css까지의 누출에 대해 새로운 차원의 안정성과 응답성 제공
INFICON UL1000 Fab 모바일 헬륨 누출 검출기는 반도체 응용분야의 요구사항을 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다.
제조공장 환경 시스템에서 사용 용이성, 누출 검출 효율성과 이동성을 우선적으로 고려한 UL1000 Fab는 모든 측정 범위에서 매우 빠른 누출 속도 응답 시간을 제공합니다. UL1000 Fab는 빠른 헬륨 펌핑 속도와 높은 입구 압력을 결합하는 진공 구조 최적화를 통해 < 5x10-12 atm cc/s까지 전례 없는 누출 속도 안정성 을 제공합니다. 독점적인 소프트웨어인 I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates)을 이용하면 UL1000 Fab가 모든 누출 속도 범위에 대해 빠르게 응답하기 때문에 긴 응답 시간과 낮은 누출 속도 범위의 불편함을 더 이상 겪지 않아도 됩니다
UL1000 Fab 헬륨 누출 검출기를 TC1000 시험 챔버 부속품과 함께 사용하면 IC 패키지, 석영 크리스탈 및 레이저 다이오드와 같은 완전 밀폐된 부품에 대해 (MIL-STD 843, Method 1014에 따른) 빠르고 정확한 누출 시험이 가능합니다.
특징 요약
- 15 데케이드가 넘는 넓은 측정 범위
- 짧은 펌프 다운 및 응답 시간
- 모바일 완전 금속 하우징으로 편의성 및 조종성 향상
- 모든 측정 범위에서 가장 빠른 누출 응답 시간을 보장하는 I-CAL
- 통합 시간을 자동으로 일치시키는 영점 기능으로 빠르고 신뢰할 수 있는 시험 결과
- 견고한 스크롤 펌프 및 다중 입구 터보분자 펌프가 포함된 지능형 진공 디자인은 높은 압축력으로 빠른 헬륨 펌핑 속도를 제공합니다
- 간단하고 쉬운 장치 제어 및 상호작용이 가능한 회전 디스플레이 및 사용자 인터페이스
- 헬륨 및 입자 오염으로부터 UL1000 Fab를 보호하는 자기 보호 기능
- 시험을 위한 청소 및 준비를 보장하는 자동 퍼지 사이클
- 이메일을 통한 소프트웨어 업데이트
- 2개의 필라멘트 이온 소스(3년 품질보증)를 지닌 견고한 질량분석기는 긴 가동 시간과 낮은 정비 비용을 보장합니다
- 정확한 시험 결과를 보장하는 내부 교정을 위한 내장 누출 시험
- 내장 소프트웨어 메뉴인 "자동 누출 시험" 기능으로 TC1000 시험 챔버를 이용한 완전 밀폐 부품의 자동 시험 실시
응용분야
- 자체 펌프의 도움을 받거나 받지 않는 반도체 공정 툴 정비 작업
- 공정 가스 시스템의 검사 및 설치
- 부품을 기존 툴에 설치하기 전에 누출 시험 실시
- 빠른 펌핑 속도와 감도와 깨끗한 시험 조건이 필요한 응용분야
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
English
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Brochure - TC1000 Test Chamber
English
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Catalogs:
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INFICON Leak Detector Catalog
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