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누출 검출의 속도 및 정확도 정의
INFICON UL5000 헬륨 누출 검출기는 가장 중요하고 어려운 누출 검출 분야를 위해 설계되었습니다. INFICON 독점 소프트웨어 알고리즘인 I-CAL 및 Hydro-S와 현장에서 입증된 진공 설계를 갖춘 UL5000은 시험의 유연성, 높은 감도 및 빠르고 정확한 결과를 제공하므로 모든 누출 검출 적용을 빠르고 쉽게 만듭니다.
UL5000은 모든 측정 범위에서 빠른 응답 시간을 제공하며 시험 조건 및 최종 시험까지 주기 시간이 매우 짧습니다. 특별히 설계된 진공 구조는 연속적으로 높은 헬륨 펌핑 속도와 매우 빠른 응답시간을 제공합니다.
특징 요약
- 시험 조건에 빠르게 도달할 수 있게 하는 HYDRO-S (*HYDRO*gen-*S*uppression)
- 모든 측정 범위에서 누출에 대한 빠른 대응을 보장하는 I-CAL (Intelligent - *C*alculation *A*lgorithm for *L*eak Rates)
- 현장에서 입증된 INFICON 자석 질량분석기는 고장과 정비가 필요 없는 설계로 오랫동안 정확하고 반복 가능한 결과를 제공해 왔습니다.
- 특별한 다중 입구 터보분자 펌프는 모든 압력에서 높은 헬륨 압축으로 최적화된 높은 헬륨 펌핑 속도로 뛰어난 감도, 응답 및 빠른 청소 기능을 제공합니다.
- 부스터 터보분자 펌프는 최대의 체적 및 챔버를 비롯한 모든 시험 대상에 대해 매우 빠른 응답 속도를 제공합니다.
- 회전 가능한 디스플레이/제어 인터페이스와 선택적 원격 핸드 컨트롤러는 조작의 유연성을 제공합니다.
- UL5000을 헬륨 및 입자 오염으로부터 보호하는 자기 보호 기능과 자동 퍼지 사이클은 UL5000이 필요할 때 언제나 준비가 되도록 보장합니다.
- 장치 및 시스템 소프트웨어에 대한 소프트웨어적 접근 통제로 허가 받지 않은 사용이나 의도하지 않은 테스트 셋업 수정을 방지합니다.
- 이메일을 통한 소프트웨어 업데이트는 UL5000의 최적의 성능을 유지합니다.
- 새로운 워크스테이션 디자인은 ESD 매트와 툴박스가 포함된 최적의 작업대 높이를 제공하여 시험 편의성을 높입니다.
- 3년 이온 소스 품질보증
응용분야
- 반도체 및 평판 디스플레이 툴에 사용되는 누출 시험 컴포넌트, 서브어셈블리 및 대형 챔버
- 반도체 및 평판 툴에 대한 누출 시험
- 우주항공 컴포넌트, 서브어셈블리 및 시스템에 대한 누출 시험
- 심박조율기, 카테터, X선관 및 MRI 시스템과 같은 의료 제품의 누출 시험
- 저장 용기/저장 탱크의 누출 시험
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
English
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Brochure - UL5000 Helium Leak Detector
English
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Catalogs:
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INFICON Leak Detector Catalog
English
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